压(Ya)阻(Zu)式(Shi)压(Ya)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)的(De)制(Zhi)造(Zao)工(Gong)艺(Yi)概(Gai)述(Shu)

典(Dian)型(Xing)的(De)压(Ya)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)可(Ke)以(Yi)分(Fen)为(Wei)压(Ya)阻(Zu)、(?)电(Dian)容(Rong)、(?)压(Ya)电(Dian)、(?)共(Gong)振(Zhen)、(?)伺(Si)服(Fu)控(Kong)制(Zhi)和(He)CMQS集(Ji)成(Cheng)等(Deng)几(Ji)种(Zhong)类(Lei)型(Xing)。(?)压(Ya)阻(Zu)式(Shi)压(Ya)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)又(You)称(Cheng)扩(Kuo)散(San)硅(Gui)压(Ya)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)，(?)其(Qi)制(Zhi)造(Zao)工(Gong)艺(Yi)简(Jian)单(Dan)，(?)线(Xian)性(Xing)好(Hao)，(?)价(Jia)格(Ge)一(Yi)般(Ban)也(Ye)比(Bi)较(Jiao)低(Di)，(?)但(Dan)对(Dui)温(Wen)度(Du)比(Bi)较(Jiao)敏(Min)感(Gan)，(?)有(You)可(Ke)能(Neng)会(Hui)出(Chu)现(Xian)温(Wen)度(Du)漂(Piao)移(Yi)，(?)而(?)且(Qie)灵(Ling)敏(Min)度(Du)较(Jiao)低(Di)，(?)典(Dian)型(Xing)产(Chan)品(Pin)的(De)技(Ji)术(Shu)参(Can)数(Shu)如(Ru)下(Xia)。(?)

一(Yi)是(Shi)不(Bu)同(Tong)的(De)工(Gong)作(Zuo)原(Yuan)理(Li)。(?)

采(Cai)用(Yong)单(Dan)晶(Jing)硅(Gui)的(De)压(Ya)阻(Zu)效(Xiao)应(Ying)，(?)构(Gou)成(Cheng)压(Ya)阻(Zu)式(Shi)压(Ya)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)。(?)

大(Da)多(Duo)数(Shu)压(Ya)电(Dian)式(Shi)压(Ya)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)都(Du)采(Cai)用(Yong)正(Zheng)压(Ya)电(Dian)效(Xiao)应(Ying)来(Lai)制(Zhi)作(Zuo)。(?)

二(?)是(Shi)侧(Ce)重(Zhong)点(Dian)不(Bu)同(Tong)。(?)

压(Ya)电(Dian)式(Shi)压(Ya)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)当(Dang)晶(Jing)体(Ti)受(Shou)到(Dao)一(Yi)个(Ge)固(Gu)定(Ding)方(Fang)向(Xiang)的(De)外(Wai)力(Li)的(De)作(Zuo)用(Yong)时(Shi)，(?)在(Zai)其(Qi)内(Nei)部(Bu)会(Hui)产(Chan)生(Sheng)电(Dian)偏(Pian)振(Zhen)现(Xian)象(Xiang)，(?)同(Tong)时(Shi)在(Zai)两(Liang)个(Ge)表(Biao)面(Mian)上(Shang)会(Hui)同(Tong)时(Shi)产(Chan)生(Sheng)符(Fu)号(Hao)相(Xiang)反(Fan)的(De)电(Dian)荷(He)；(?)当(Dang)外(Wai)力(Li)被(Bei)移(Yi)走(Zou)之(Zhi)后(Hou)，(?)晶(Jing)体(Ti)又(You)回(Hui)到(Dao)不(Bu)带(Dai)电(Dian)的(De)状(Zhuang)态(Tai)；(?)当(Dang)外(Wai)力(Li)的(De)方(Fang)向(Xiang)发(Fa)生(Sheng)变(Bian)化(Hua)时(Shi)，(?)电(Dian)荷(He)的(De)极(Ji)性(Xing)也(Ye)会(Hui)发(Fa)生(Sheng)变(Bian)化(Hua)；(?)晶(Jing)体(Ti)的(De)电(Dian)荷(He)量(Liang)与(Yu)外(Wai)力(Li)的(De)大(Da)小(Xiao)成(Cheng)正(Zheng)比(Bi)。(?)

压(Ya)阻(Zu)式(Shi)压(Ya)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)以(Yi)单(Dan)晶(Jing)硅(Gui)片(Pian)为(Wei)弹(Dan)性(Xing)元(Yuan)件(Jian)，(?)采(Cai)用(Yong)集(Ji)成(Cheng)电(Dian)路(Lu)工(Gong)艺(Yi)，(?)在(Zai)单(Dan)晶(Jing)硅(Gui)膜(Mo)片(Pian)上(Shang)沿(Yan)一(Yi)定(Ding)方(Fang)向(Xiang)扩(Kuo)散(San)一(Yi)组(Zu)等(Deng)值(Zhi)电(Dian)阻(Zu)，(?)并(Bing)将(Jiang)电(Dian)阻(Zu)接(Jie)合(He)到(Dao)桥(Qiao)路(Lu)上(Shang)，(?)将(Jiang)单(Dan)晶(Jing)硅(Gui)片(Pian)置(Zhi)于(Yu)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)腔(Qiang)中(Zhong)。(?)单(Dan)晶(Jing)硅(Gui)在(Zai)压(Ya)力(Li)变(Bian)化(Hua)时(Shi)会(Hui)产(Chan)生(Sheng)应(Ying)变(Bian)，(?)使(Shi)得(De)应(Ying)变(Bian)电(Dian)阻(Zu)直(Zhi)接(Jie)扩(Kuo)散(San)到(Dao)上(Shang)面(Mian)，(?)产(Chan)生(Sheng)正(Zheng)比(Bi)于(Yu)被(Bei)测(Ce)压(Ya)力(Li)的(De)变(Bian)化(Hua)，(?)然(Ran)后(Hou)通(Tong)过(Guo)桥(Qiao)式(Shi)电(Dian)路(Lu)获(Huo)得(De)相(Xiang)应(Ying)的(De)电(Dian)压(Ya)输(Shu)出(Chu)信(Xin)号(Hao)。(?)

三(San)是(Shi)结(Jie)构(Gou)不(Bu)同(Tong)。(?)

压(Ya)电(Dian)式(Shi)压(Ya)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)是(Shi)基(Ji)于(Yu)压(Ya)电(Dian)效(Xiao)应(Ying)的(De)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)。(?)其(Qi)类(Lei)型(Xing)和(He)型(Xing)号(Hao)多(Duo)种(Zhong)多(Duo)样(Yang)，(?)按(An)其(Qi)弹(Dan)性(Xing)敏(Min)感(Gan)元(Yuan)件(Jian)的(De)形(Xing)式(Shi)和(He)受(Shou)力(Li)机(Ji)构(Gou)可(Ke)分(Fen)为(Wei)膜(Mo)片(Pian)式(Shi)和(He)活(Huo)塞(Sai)式(Shi)两(Liang)种(Zhong)。(?)隔(Ge)膜(Mo)式(Shi)主(Zhu)要(Yao)由(You)本(Ben)体(Ti)、(?)隔(Ge)膜(Mo)和(He)压(Ya)电(Dian)元(Yuan)件(Jian)组(Zu)成(Cheng)。(?)

压(Ya)阻(Zu)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)采(Cai)用(Yong)集(Ji)成(Cheng)工(Gong)艺(Yi)在(Zai)单(Dan)晶(Jing)硅(Gui)薄(Bao)膜(Mo)上(Shang)集(Ji)成(Cheng)电(Dian)阻(Zu)条(Tiao)，(?)制(Zhi)作(Zuo)硅(Gui)压(Ya)阻(Zu)芯(Xin)片(Pian)，(?)并(Bing)将(Jiang)该(Gai)芯(Xin)片(Pian)的(De)周(Zhou)边(Bian)固(Gu)定(Ding)封(Feng)装(Zhuang)在(Zai)薄(Bao)膜(Mo)内(Nei)，(?)引(Yin)出(Chu)电(Dian)极(Ji)引(Yin)线(Xian)。(?)

压(Ya)力(Li)表(Biao)是(Shi)用(Yong)来(Lai)测(Ce)量(Liang)工(Gong)质(Zhi)压(Ya)力(Li)的(De)元(Yuan)件(Jian)，(?)其(Qi)输(Shu)出(Chu)一(Yi)般(Ban)为(Wei)连(Lian)续(Xu)模(Mo)拟(Ni)信(Xin)号(Hao)。(?)压(Ya)力(Li)开(Kai)关(Guan)是(Shi)根(Gen)据(Ju)压(Ya)力(Li)控(Kong)制(Zhi)电(Dian)路(Lu)而(?)关(Guan)闭(Bi)的(De)元(Yuan)件(Jian)，(?)其(Qi)输(Shu)出(Chu)通(Tong)常(Chang)为(Wei)开(Kai)关(Guan)值(Zhi)。(?)

- 深(Shen)圳(Zhen)市(Shi)力(Li)准(Zhun)传(Chuan)感(Gan)技(Ji)术(Shu)有(You)限(Xian)公(Gong)司(Si)是(Shi)专(Zhuan)业(Ye)生(Sheng)产(Chan)高(Gao)品(Pin)质(Zhi)、(?)高(Gao)精(Jing)度(Du)测(Ce)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)厂(Chang)家(Jia)。(?)主(Zhu)要(Yao)产(Chan)品(Pin)有(You)微(Wei)型(Xing)压(Ya)式(Shi)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)拉(La)压(Ya)式(Shi)柱(Zhu)式(Shi)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)螺(Luo)杆(Gan)拉(La)压(Ya)式(Shi)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)S型(Xing)拉(La)压(Ya)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)轴(Zhou)销(Xiao)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)称(Cheng)重(Zhong)测(Ce)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)多(Duo)维(Wei)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)扭(Niu)矩(Ju)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)位(Wei)移(Yi)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)压(Ya)力(Li)变(Bian)送(Song)器(Qi)（(?)液(Ye)压(Ya)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)）(?)、(?)变(Bian)送(Song)器(Qi)/放(Fang)大(Da)器(Qi)、(?)控(Kong)制(Zhi)仪(Yi)表(Biao)、(?)以(Yi)及(Ji)手(Shou)持(Chi)仪(Yi)等(Deng)力(Li)控(Kong)产(Chan)品(Pin)达(Da)百(Bai)余(Yu)种(Zhong)，(?)并(Bing)已(Yi)获(Huo)得(De)多(Duo)项(Xiang)知(Zhi)识(Shi)产(Chan)权(Quan)；(?)

- 产(Chan)品(Pin)广(Guang)泛(Fan)应(Ying)用(Yong)于(Yu)10多(Duo)种(Zhong)新(Xin)型(Xing)和(He)智(Zhi)能(Neng)化(Hua)高(Gao)端(Duan)领(Ling)域(Yu)，(?)包(Bao)括(Kuo)工(Gong)业(Ye)自(Zi)动(Dong)化(Hua)生(Sheng)产(Chan)线(Xian)、(?)3C、(?)新(Xin)能(Neng)源(Yuan)、(?)机(Ji)器(Qi)人(Ren)、(?)机(Ji)械(Xie)制(Zhi)造(Zao)、(?)医(Yi)疗(Liao)、(?)纺(Fang)织(Zhi)、(?)汽(Qi)车(Che)、(?)冶(Ye)金(Jin)以(Yi)及(Ji)交(Jiao)通(Tong)等(Deng)领(Ling)域(Yu)；(?)

- 产(Chan)品(Pin)技(Ji)术(Shu)持(Chi)续(Xu)创(Chuang)新(Xin)、(?)新(Xin)品(Pin)研(Yan)发(Fa)能(Neng)力(Li)强(Qiang)。(?)