从(Cong)广(Guang)义(Yi)上(Shang)讲(Jiang)，(?)压(Ya)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)可(Ke)分(Fen)为(Wei)三(San)类(Lei)：(?)压(Ya)阻(Zu)压(Ya)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)电(Dian)容(Rong)压(Ya)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)和(He)压(Ya)电(Dian)压(Ya)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)，(?)下(Xia)面(Mian)，(?)介(Jie)绍(Shao)压(Ya)阻(Zu)压(Ya)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)的(De)工(Gong)作(Zuo)原(Yuan)理(Li)及(Ji)性(Xing)能(Neng)。(?)
压(Ya)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)的(De)压(Ya)力(Li)敏(Min)感(Gan)元(Yuan)件(Jian)为(Wei)压(Ya)阻(Zu)元(Yuan)件(Jian)，(?)其(Qi)工(Gong)作(Zuo)原(Yuan)理(Li)为(Wei)压(Ya)阻(Zu)效(Xiao)应(Ying)。(?)所(Suo)称(Cheng)压(Ya)阻(Zu)元(Yuan)件(Jian)，(?)实(Shi)际(Ji)上(Shang)是(Shi)指(Zhi)由(You)集(Ji)成(Cheng)电(Dian)路(Lu)工(Gong)艺(Yi)在(Zai)半(Ban)导(Dao)体(Ti)材(Cai)料(Liao)基(Ji)板(Ban)上(Shang)制(Zhi)造(Zao)的(De)扩(Kuo)散(San)电(Dian)阻(Zu)，(?)当(Dang)它(Ta)受(Shou)到(Dao)外(Wai)力(Li)作(Zuo)用(Yong)时(Shi)，(?)会(Hui)因(Yin)电(Dian)阻(Zu)率(Lu)的(De)变(Bian)化(Hua)而(?)改(Gai)变(Bian)阻(Zu)值(Zhi)。(?)在(Zai)正(Zheng)常(Chang)情(Qing)况(Kuang)下(Xia)，(?)扩(Kuo)散(San)电(Dian)阻(Zu)需(Xu)要(Yao)依(Yi)赖(Lai)于(Yu)弹(Dan)性(Xing)元(Yuan)件(Jian)，(?)通(Tong)常(Chang)使(Shi)用(Yong)单(Dan)晶(Jing)硅(Gui)薄(Bao)膜(Mo)。(?)
压(Ya)阻(Zu)片(Pian)采(Cai)用(Yong)周(Zhou)边(Bian)固(Gu)定(Ding)硅(Gui)片(Pian)结(Jie)构(Gou)，(?)封(Feng)装(Zhuang)于(Yu)外(Wai)壳(Ke)内(Nei)。(?)一(Yi)个(Ge)圆(Yuan)形(Xing)单(Dan)晶(Jing)硅(Gui)膜(Mo)片(Pian)上(Shang)，(?)有(You)四(Si)个(Ge)扩(Kuo)散(San)电(Dian)阻(Zu)，(?)其(Qi)中(Zhong)两(Liang)片(Pian)位(Wei)于(Yu)受(Shou)压(Ya)应(Ying)力(Li)区(Qu)，(?)另(Ling)两(Liang)片(Pian)位(Wei)于(Yu)受(Shou)拉(La)应(Ying)力(Li)区(Qu)，(?)构(Gou)成(Cheng)全(Quan)桥(Qiao)测(Ce)量(Liang)电(Dian)路(Lu)。(?)硅(Gui)膜(Mo)由(You)圆(Yuan)形(Xing)硅(Gui)杯(Bei)固(Gu)定(Ding)，(?)两(Liang)侧(Ce)有(You)两(Liang)个(Ge)压(Ya)腔(Qiang)，(?)一(Yi)个(Ge)与(Yu)测(Ce)量(Liang)的(De)压(Ya)力(Li)相(Xiang)连(Lian)接(Jie)的(De)高(Gao)压(Ya)腔(Qiang)，(?)另(Ling)一(Yi)个(Ge)是(Shi)低(Di)压(Ya)腔(Qiang)，(?)接(Jie)参(Can)考(Kao)压(Ya)力(Li)，(?)通(Tong)常(Chang)与(Yu)压(Ya)气(Qi)层(Ceng)相(Xiang)通(Tong)。(?)在(Zai)压(Ya)差(Cha)作(Zuo)用(Yong)下(Xia)，(?)膜(Mo)片(Pian)产(Chan)生(Sheng)变(Bian)形(Xing)，(?)从(Cong)而(?)改(Gai)变(Bian)两(Liang)对(Dui)电(Dian)阻(Zu)的(De)阻(Zu)值(Zhi)，(?)使(Shi)电(Dian)桥(Qiao)失(Shi)去(Qu)平(Ping)衡(Heng)，(?)其(Qi)输(Shu)出(Chu)电(Dian)压(Ya)反(Fan)映(Ying)膜(Mo)片(Pian)两(Liang)侧(Ce)压(Ya)差(Cha)的(De)大(Da)小(Xiao)。(?)
MEMS技(Ji)术(Shu)硅(Gui)压(Ya)阻(Zu)式(Shi)智(Zhi)能(Neng)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)。(?)
利(Li)用(Yong)惠(Hui)斯(Si)顿(Dun)检(Jian)测(Ce)电(Dian)桥(Qiao)，(?)利(Li)用(Yong)MEMS技(Ji)术(Shu)将(Jiang)压(Ya)力(Li)信(Xin)号(Hao)转(Zhuan)换(Huan)成(Cheng)电(Dian)信(Xin)号(Hao)，(?)利(Li)用(Yong)应(Ying)变(Bian)原(Yuan)理(Li)，(?)使(Shi)单(Dan)晶(Jing)硅(Gui)片(Pian)成(Cheng)为(Wei)集(Ji)应(Ying)力(Li)敏(Min)感(Gan)和(He)力(Li)电(Dian)敏(Min)感(Gan)于(Yu)一(Yi)体(Ti)的(De)敏(Min)感(Gan)元(Yuan)件(Jian)。(?)
硅(Gui)片(Pian)受(Shou)外(Wai)力(Li)作(Zuo)用(Yong)时(Shi)，(?)硅(Gui)应(Ying)变(Bian)电(Dian)桥(Qiao)的(De)桥(Qiao)臂(Bi)电(Dian)阻(Zu)会(Hui)发(Fa)生(Sheng)变(Bian)化(Hua)，(?)通(Tong)常(Chang)采(Cai)用(Yong)惠(Hui)斯(Si)顿(Dun)电(Dian)桥(Qiao)的(De)检(Jian)测(Ce)方(Fang)式(Shi)。(?)在(Zai)图(Tu)3中(Zhong)可(Ke)以(Yi)看(Kan)到(Dao)。(?)
它(Ta)的(De)输(Shu)出(Chu)电(Dian)压(Ya)表(Biao)示(Shi)为(Wei)：(?)
V="VBΔ(?)R/R(R1=R2,R3=R4,P=P=R2,P=R4)
由(You)于(Yu)电(Dian)阻(Zu)的(De)变(Bian)化(Hua)与(Yu)应(Ying)力(Li)P有(You)直(Zhi)接(Jie)的(De)关(Guan)系(Xi)。(?)
伏(Fu)特(Te)=SPVB±(?)伏(Fu)特(Te)。(?)
其(Qi)中(Zhong)：(?)Vo是(Shi)输(Shu)出(Chu)电(Dian)压(Ya)，(?)mV;S是(Shi)灵(Ling)敏(Min)度(Du)，(?)mV/V/Pa;P是(Shi)外(Wai)力(Li)或(Huo)应(Ying)力(Li)，(?)Pa;P是(Shi)桥(Qiao)压(Ya)，(?)V,V;P是(Shi)零(Ling)输(Shu)出(Chu)电(Dian)压(Ya)，(?)mV。(?)
单(Dan)片(Pian)机(Ji)芯(Xin)片(Pian)只(Zhi)能(Neng)作(Zuo)为(Wei)检(Jian)测(Ce)单(Dan)元(Yuan)的(De)一(Yi)部(Bu)分(Fen)，(?)不(Bu)能(Neng)独(Du)立(Li)完(Wan)成(Cheng)信(Xin)号(Hao)转(Zhuan)换(Huan)，(?)因(Yin)此(Ci)必(Bi)须(Xu)有(You)特(Te)殊(Shu)的(De)封(Feng)装(Zhuang)，(?)使(Shi)其(Qi)具(Ju)有(You)压(Ya)力(Li)检(Jian)测(Ce)功(Gong)能(Neng)。(?)用(Yong)PYREX玻(Bo)璃(Li)将(Jiang)硅(Gui)晶(Jing)片(Pian)和(He)密(Mi)封(Feng)环(Huan)连(Lian)接(Jie)起(Qi)来(Lai)。(?)由(You)于(Yu)PYREX玻(Bo)璃(Li)环(Huan)作(Zuo)为(Wei)硅(Gui)片(Pian)的(De)力(Li)学(Xue)固(Gu)定(Ding)支(Zhi)撑(Cheng)弹(Dan)性(Xing)敏(Min)感(Gan)元(Yuan)件(Jian)，(?)并(Bing)使(Shi)硅(Gui)片(Pian)绝(Jue)缘(Yuan)于(Yu)封(Feng)装(Zhuang)，(?)PYREX玻(Bo)璃(Li)环(Huan)上(Shang)的(De)孔(Kong)恰(Qia)好(Hao)成(Cheng)为(Wei)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)的(De)基(Ji)准(Zhun)压(Ya)腔(Qiang)和(He)电(Dian)极(Ji)引(Yin)线(Xian)腔(Qiang)。(?)在(Zai)金(Jin)属(Shu)螺(Luo)纹(Wen)基(Ji)座(Zuo)上(Shang)形(Xing)成(Cheng)进(Jin)气(Qi)腔(Qiang)后(Hou)，(?)这(Zhe)种(Zhong)包(Bao)装(Zhuang)技(Ji)术(Shu)能(Neng)承(Cheng)受(Shou)至(Zhi)少(Shao)15MPa的(De)压(Ya)力(Li)，(?)如(Ru)果(Guo)经(Jing)过(Guo)特(Te)殊(Shu)处(Chu)理(Li)，(?)还(Huan)能(Neng)承(Cheng)受(Shou)100MPa的(De)压(Ya)力(Li)。(?)
技(Ji)术(Shu)性(Xing)能(Neng)分(Fen)析(Xi)
MEMS智(Zhi)能(Neng)硅(Gui)压(Ya)阻(Zu)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)的(De)静(Jing)态(Tai)特(Te)性(Xing)测(Ce)试(Shi)结(Jie)果(Guo)表(Biao)明(Ming)，(?)其(Qi)技(Ji)术(Shu)指(Zhi)标(Biao)如(Ru)下(Xia)：(?)
再(Zai)现(Xian)性(Xing)小(Xiao)于(Yu)±(?)0.2%满(Man)负(Fu)荷(He)。(?)
滞(Zhi)后(Hou)小(Xiao)于(Yu)0.1%的(De)满(Man)量(Liang)程(Cheng)。(?)
线(Xian)性(Xing)小(Xiao)于(Yu)±(?)0.1%的(De)满(Man)量(Liang)程(Cheng)
敏(Min)感(Gan)性(Xing)为(Wei)0.02V/千(Qian)帕(Pa)。(?)
这(Zhe)个(Ge)感(Gan)应(Ying)器(Qi)有(You)100毫(Hao)秒(Miao)的(De)分(Fen)辨(Bian)率(Lu)。(?)
这(Zhe)个(Ge)感(Gan)应(Ying)器(Qi)的(De)超(Chao)载(Zai)能(Neng)力(Li)达(Da)到(Dao)200%
与(Yu)HZ-PRC-802型(Xing)等(Deng)常(Chang)规(Gui)压(Ya)阻(Zu)式(Shi)压(Ya)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)相(Xiang)比(Bi)：(?)
计(Ji)量(Liang)准(Zhun)确(Que)度(Du)为(Wei)0.5%(包(Bao)括(Kuo)线(Xian)性(Xing)、(?)重(Zhong)复(Fu)性(Xing)、(?)滞(Zhi)后(Hou)指(Zhi)标(Biao))
敏(Min)感(Gan)性(Xing)是(Shi)±(?)0.02%FS/℃(?)。(?)
瞬(Shun)间(Jian)超(Chao)负(Fu)荷(He)是(Shi)两(Liang)倍(Bei)满(Man)量(Liang)程(Cheng)。(?)
智(Zhi)能(Neng)化(Hua)硅(Gui)压(Ya)阻(Zu)式(Shi)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)具(Ju)有(You)稳(Wen)定(Ding)、(?)灵(Ling)敏(Min)度(Du)高(Gao)、(?)温(Wen)度(Du)范(Fan)围(Wei)宽(Kuan)、(?)封(Feng)装(Zhuang)尺(Chi)寸(Cun)小(Xiao)、(?)质(Zhi)量(Liang)好(Hao)等(Deng)特(Te)点(Dian)。(?)
- 深(Shen)圳(Zhen)市(Shi)力(Li)准(Zhun)传(Chuan)感(Gan)技(Ji)术(Shu)有(You)限(Xian)公(Gong)司(Si)是(Shi)专(Zhuan)业(Ye)生(Sheng)产(Chan)高(Gao)品(Pin)质(Zhi)、(?)高(Gao)精(Jing)度(Du)测(Ce)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)厂(Chang)家(Jia)。(?)主(Zhu)要(Yao)产(Chan)品(Pin)有(You)微(Wei)型(Xing)压(Ya)式(Shi)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)拉(La)压(Ya)式(Shi)柱(Zhu)式(Shi)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)螺(Luo)杆(Gan)拉(La)压(Ya)式(Shi)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)S型(Xing)拉(La)压(Ya)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)轴(Zhou)销(Xiao)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)称(Cheng)重(Zhong)测(Ce)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)多(Duo)维(Wei)力(Li)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)扭(Niu)矩(Ju)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)位(Wei)移(Yi)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)压(Ya)力(Li)变(Bian)送(Song)器(Qi)、(?)液(Ye)压(Ya)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)、(?)变(Bian)送(Song)器(Qi)/放(Fang)大(Da)器(Qi)、(?)控(Kong)制(Zhi)仪(Yi)表(Biao)、(?)以(Yi)及(Ji)手(Shou)持(Chi)仪(Yi)等(Deng)力(Li)控(Kong)产(Chan)品(Pin)达(Da)千(Qian)余(Yu)种(Zhong)，(?)并(Bing)已(Yi)获(Huo)得(De)多(Duo)项(Xiang)国(Guo)家(Jia)知(Zhi)识(Shi)产(Chan)权(Quan)。(?)
免(Mian)责(Ze)声(Sheng)明(Ming)：(?)本(Ben)文(Wen)部(Bu)分(Fen)内(Nei)容(Rong)源(Yuan)于(Yu)网(Wang)络(Luo)，(?)旨(Zhi)在(Zai)传(Chuan)递(Di)和(He)分(Fen)享(Xiang)更(Geng)多(Duo)信(Xin)息(Xi)，(?)如(Ru)有(You)侵(Qin)犯(Fan)您(Nin)的(De)权(Quan)利(Li)，(?)请(Qing)联(Lian)系(Xi)我(Wo)们(Men)删(Shan)除(Chu)。(?)
