MEMS传(Chuan)感(Gan)器(Qi)常(Chang)用(Yong)的(De)几(Ji)种(Zhong)传(Chuan)导(Dao)机(Ji)制(Zhi)

mems加(Jia)速(Su)度(Du)计(Ji)包(Bao)括(Kuo)弹(Dan)簧(Huang)质(Zhi)量(Liang)系(Xi)统(Tong)，(?)类(Lei)似(Si)于(Yu)许(Xu)多(Duo)其(Qi)他(Ta)mems加(Jia)速(Su)度(Du)计(Ji)。(?)质(Zhi)量(Liang)反(Fan)应(Ying)外(Wai)部(Bu)加(Jia)速(Su)度(Du)(静(Jing)态(Tai)加(Jia)速(Su)度(Du)(如(Ru)重(Zhong)力(Li))或(Huo)动(Dong)态(Tai)加(Jia)速(Su)度(Du)(如(Ru)速(Su)度(Du)变(Bian)化(Hua))，(?)其(Qi)物(Wu)理(Li)位(Wei)移(Yi)由(You)传(Chuan)导(Dao)机(Ji)制(Zhi)检(Jian)测(Ce)。(?)MEMS传(Chuan)感(Gan)器(Qi)最(Zui)常(Chang)用(Yong)的(De)传(Chuan)导(Dao)机(Ji)制(Zhi)有(You)电(Dian)容(Rong)式(Shi)、(?)压(Ya)阻(Zu)式(Shi)、(?)压(Ya)电(Dian)式(Shi)或(Huo)磁(Ci)性(Xing)。(?)它(Ta)采(Cai)用(Yong)电(Dian)容(Rong)传(Chuan)导(Dao)机(Ji)制(Zhi)，(?)通(Tong)过(Guo)电(Dian)容(Rong)变(Bian)化(Hua)检(Jian)测(Ce)运(Yun)动(Dong)，(?)电(Dian)容(Rong)变(Bian)化(Hua)可(Ke)以(Yi)通(Tong)过(Guo)读(Du)取(Qu)电(Dian)路(Lu)转(Zhuan)换(Huan)成(Cheng)电(Dian)压(Ya)或(Huo)电(Dian)流(Liu)输(Shu)出(Chu)。(?)虽(Sui)然(Ran)硅(Gui)片(Pian)上(Shang)的(De)所(Suo)有(You)三(San)轴(Zhou)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)都(Du)采(Cai)用(Yong)了(Liao)电(Dian)容(Rong)传(Chuan)导(Dao)机(Ji)制(Zhi)，(?)但(Dan)X/Y传(Chuan)感(Gan)器(Qi)和(He)Z传(Chuan)感(Gan)器(Qi)采(Cai)用(Yong)了(Liao)两(Liang)种(Zhong)完(Wan)全(Quan)不(Bu)同(Tong)的(De)电(Dian)容(Rong)检(Jian)测(Ce)结(Jie)构(Gou)。(?)基(Ji)于(Yu)差(Cha)分(Fen)平(Ping)面(Mian)内(Nei)叉(Cha)指(Zhi)的(De)X/Y传(Chuan)感(Gan)器(Qi)是(Shi)平(Ping)面(Mian)外(Wai)平(Ping)行(Xing)板(Ban)电(Dian)容(Rong)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)。(?)

如(Ru)果(Guo)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)上(Shang)有(You)压(Ya)缩(Suo)应(Ying)力(Li)或(Huo)拉(La)应(Ying)力(Li)，(?)MEMS芯(Xin)片(Pian)会(Hui)翘(Qiao)曲(Qu)。(?)由(You)于(Yu)检(Jian)测(Ce)质(Zhi)量(Liang)块(Kuai)通(Tong)过(Guo)弹(Dan)簧(Huang)悬(Xuan)挂(Gua)在(Zai)衬(Chen)底(Di)上(Shang)方(Fang)，(?)不(Bu)会(Hui)与(Yu)衬(Chen)底(Di)一(Yi)起(Qi)翘(Qiao)曲(Qu)，(?)但(Dan)质(Zhi)量(Liang)块(Kuai)与(Yu)衬(Chen)底(Di)之(Zhi)间(Jian)的(De)间(Jian)隙(Xi)会(Hui)发(Fa)生(Sheng)变(Bian)化(Hua)。(?)对(Dui)于(Yu)X/Y传(Chuan)感(Gan)器(Qi)来(Lai)说(Shuo)，(?)由(You)于(Yu)平(Ping)面(Mian)内(Nei)位(Wei)移(Yi)对(Dui)叉(Cha)指(Zhi)电(Dian)容(Rong)变(Bian)化(Hua)的(De)影(Ying)响(Xiang)最(Zui)大(Da)，(?)间(Jian)隙(Xi)不(Bu)在(Zai)电(Dian)容(Rong)灵(Ling)敏(Min)度(Du)方(Fang)向(Xiang)，(?)这(Zhe)是(Shi)由(You)于(Yu)边(Bian)缘(Yuan)电(Dian)场(Chang)的(De)补(Bu)偿(Chang)。(?)但(Dan)是(Shi)对(Dui)于(Yu)Z传(Chuan)感(Gan)器(Qi)来(Lai)说(Shuo)，(?)衬(Chen)底(Di)和(He)检(Jian)测(Ce)质(Zhi)量(Liang)块(Kuai)之(Zhi)间(Jian)的(De)间(Jian)隙(Xi)实(Shi)际(Ji)上(Shang)是(Shi)检(Jian)测(Ce)间(Jian)隙(Xi)。(?)因(Yin)此(Ci)，(?)它(Ta)会(Hui)直(Zhi)接(Jie)影(Ying)响(Xiang)Z传(Chuan)感(Gan)器(Qi)，(?)因(Yin)为(Wei)它(Ta)有(You)效(Xiao)地(Di)改(Gai)变(Bian)了(Liao)Z传(Chuan)感(Gan)器(Qi)的(De)检(Jian)测(Ce)间(Jian)隙(Xi)。(?)此(Ci)外(Wai)，(?)Z传(Chuan)感(Gan)器(Qi)位(Wei)于(Yu)芯(Xin)片(Pian)的(De)中(Zhong)心(Xin)。(?)只(Zhi)要(Yao)芯(Xin)片(Pian)受(Shou)到(Dao)任(Ren)何(He)应(Ying)力(Li)，(?)这(Zhe)个(Ge)位(Wei)置(Zhi)就(Jiu)会(Hui)产(Chan)生(Sheng)最(Zui)大(Da)的(De)翘(Qiao)曲(Qu)。(?)

除(Chu)了(Liao)物(Wu)理(Li)应(Ying)力(Li)外(Wai)，(?)由(You)于(Yu)z轴(Zhou)上(Shang)的(De)热(Re)传(Chuan)递(Di)在(Zai)大(Da)多(Duo)数(Shu)应(Ying)用(Yong)中(Zhong)不(Bu)对(Dui)称(Cheng)，(?)所(Suo)以(Yi)z轴(Zhou)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)上(Shang)经(Jing)常(Chang)存(Cun)在(Zai)温(Wen)度(Du)梯(Ti)度(Du)。(?)在(Zai)典(Dian)型(Xing)应(Ying)用(Yong)中(Zhong)，(?)传(Chuan)感(Gan)器(Qi)焊(Han)接(Jie)在(Zai)印(Yin)刷(Shua)电(Dian)路(Lu)板(Ban)上(Shang)，(?)整(Zheng)个(Ge)系(Xi)统(Tong)。(?)X和(He)Y轴(Zhou)的(De)热(Re)传(Chuan)递(Di)主(Zhu)要(Yao)通(Tong)过(Guo)封(Feng)装(Zhuang)周(Zhou)围(Wei)的(De)焊(Han)点(Dian)传(Chuan)递(Di)给(Gei)对(Dui)称(Cheng)的(De)PCB。(?)但(Dan)是(Shi)在(Zai)z方(Fang)向(Xiang)，(?)由(You)于(Yu)芯(Xin)片(Pian)顶(Ding)部(Bu)有(You)焊(Han)点(Dian)和(He)对(Dui)流(Liu)，(?)热(Re)量(Liang)通(Tong)过(Guo)底(Di)部(Bu)传(Chuan)递(Di)，(?)热(Re)量(Liang)通(Tong)过(Guo)空(Kong)气(Qi)传(Chuan)递(Di)到(Dao)封(Feng)装(Zhuang)。(?)由(You)于(Yu)这(Zhe)种(Zhong)不(Bu)匹(Pi)配(Pei)，(?)z轴(Zhou)上(Shang)会(Hui)出(Chu)现(Xian)残(Can)留(Liu)的(De)温(Wen)差(Cha)梯(Ti)度(Du)。(?)正(Zheng)如(Ru)物(Wu)理(Li)压(Ya)缩(Suo)/拉(La)应(Ying)力(Li)一(Yi)样(Yang)，(?)z轴(Zhou)不(Bu)会(Hui)因(Yin)加(Jia)速(Su)而(?)产(Chan)生(Sheng)偏(Pian)移(Yi)。(?)

免(Mian)责(Ze)声(Sheng)明(Ming)：(?)本(Ben)文(Wen)部(Bu)分(Fen)内(Nei)容(Rong)源(Yuan)于(Yu)网(Wang)络(Luo)，(?)如(Ru)侵(Qin)犯(Fan)您(Nin)的(De)权(Quan)利(Li)，(?)请(Qing)联(Lian)系(Xi)我(Wo)们(Men)删(Shan)除(Chu)。(?)